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工業表面處理
工業用零部件的表面處理都是相當有講究的。比如：汽車的發動機軸、氣缸套筒、高速齒輪等主要性能部件都需要進行表面氮化處理，以提高硬度、耐磨性和疲勞極限。
耐腐蝕質量流量控制器用于金屬表面氮化處理
氮化處理是利用氨在一定溫度(500～600℃)下所分解的活性氮原子向鋼的表面層擴散，而形成鐵氮合金，從而改變工件表面的力學性能和物理、化學性質。圖為國內某知名氮化爐生產廠家利用ALICAT質量流量控制器控制參與氮化爐內反應的氨氣的質量流量。
氨氣在400℃以上發生分解反應：2NH3→2N+3H2
分解出的氮原子被工件吸收從而形成氮化層。將被加工工件置于滲氮爐內不銹鋼真空密封罐中，通過質量流量控制器精密控制氨氣的輸入流量，加熱到520℃，根據工件要求的氮化層厚度保持適當的時間，通常為10~60小時。整個過程中需要保持穩定的氨氣流量并根據氮勢的變化迅速調節裂解氨氣的流量，由此確保滲氮爐內穩定的氣氛及爐壓，使得被加工部件表面氮層均勻。
耐腐蝕質量流量控制器同時測量氮化爐多種變量參數
質量流量、體積流量、溫度、絕對壓力、累計流量(選配)
50毫秒內實現穩定、可重復的流量控制
消除上游壓力波動造成的影響
標配98~128種工業常用純氣和混合氣體
靈活切換氣體、降低質量流量控制器采購成本
標配RS-232數字通訊 + 0~5V模擬通訊
可選配所有工業常用通訊方式：4～20mA, RS485, Modbus, Profibus, DeviceNet, EtherCAT, EtherCAT, LabVIEW
耐腐蝕質量流量控制器標配兼容氣體列表
再也不需要模棱兩可的系數K
| 純氣 | 生物反應混合氣 | 腐蝕性純氣 |
| ? 乙炔 (C2H2) | ? 5% CH4 95% CO2 | *須使用 20S/21S系列設備 |
| ? 空氣 | ? 10% CH4 90% CO2 | ? 氨氣 (NH3) |
| ? 氬氣 (Ar) | ? 15% CH4 85% CO2 | ? 丁烯 (1-Butene) |
| ? 異丁烷 (i-C4H10) | ? 20% CH4 80% CO2 | ? 順丁烯 (cis-2-Butene) |
| ? 正丁烷 (n-C4H10) | ? 25% CH4 75% CO2 | ? 異丁烯 |
| ? 二氧化碳 (CO2) | ? 30% CH4 70% CO2 | ? 反丁烯 |
| ? 一氧化碳 (CO) | ? 35% CH4 65% CO2 | ? 硫化羰 (COS) |
| ? 氘氣 (D2) | ? 40% CH4 60% CO2 | ? 氯氣 (Cl2) *僅限用于流量計 |
| ? 乙烷 (C2H6) | ? 45% CH4 55% CO2 | ? 二甲基乙醚 (CH3OCH3) |
| ? 乙烯 (C2H4) | ? 50% CH4 50% CO2 | ? 硫化氫 (H2S) |
| ? 氦氣 (He) | ? 55% CH4 45% CO2 | ? 三氟化氮 (NF3) |
| ? 氫氣 (H2) | ? 60% CH4 40% CO2 | ? 氧化一氮 (NO) |
| ? 氪氣 (Kr) | ? 65% CH4 35% CO2 | ? 丙烯 (C3H6) |
| ? 甲烷 (CH4) | ? 70% CH4 30% CO2 | ? 硅烷 (SiH4) |
| ? 氖氣 (Ne) | ? 75% CH4 25% CO2 | ? 二氧化硫 (SO2) *僅限用于流量計 |
| ? 氮氣 (N2) | ? 80% CH4 20% CO2 | |
| ? 一氧化二氮 (N2O) | ? 85% CH4 15% CO2 | |
| ? 氧氣 (O2) | ? 90% CH4 10% CO2 | |
| ? 丙烷 (C3H8) | ? 95% CH4 5% CO2 | |
| ? 六氟化硫 (SF6) | ||
| ? 氙氣 (Xe) | ||
| 呼吸氣體 | 燃燒混合氣 | 制冷劑 |
| ? EAN-32 (32% O2+68% N2) | ? 煤氣 50% H2+35% CH4+10% CO+5% C2H4 | *須使用20S/21S系列設備 |
| ? EAN-36 (36% O2+64% N2) | ? 吸熱型氣體 75% H2+25% N2 | ? R-11 Trichlorofluoromethane (CCl3F) |
| ? EAN-40 (40% O2+60% N2) | ? HHO 66.67% H2+33.33% O2 | ? R-14 Tetrafluoromethane (CF4) |
| ? EA-40 (40% O2+60% Air) | ? LPG HD-5 96.1% C3H8+1.5% C2H6+0.4% C3H6+1.9% n-C4H10 | ? R-22 Difluoromonochloromethane (CHClF2) |
| ? EA-60 (60% O2+40% Air) | ? LPG HD-10 85% C3H8+10% C3H6+ 5% n-C4H10 | ? R-23 Trifluoromethane (CHF3) |
| ? EA-80 (80% O2+20% Air) | ? 天然氣 93% CH4+3% C2H6+1% C3H8+2% N2+1% CO2 | ? R-32 Difluoromethane (CH2F2) |
| ? Heliox-20 (20% O2+80% He) | ? 天然氣 95% CH4+3% C2H6+1% N2+ 1% CO2 | ? R-115 Chloropentafluoroethane (C2ClF5) |
| ? Heliox-21 (21% O2+79% He) | ? 天然氣 95.2% CH4+2.5% C2H6+0.2% C3H8+0.1% C4H10+1.3% N2+0.7% CO2 | ? R-116 Hexafluoroethane (C2F6) |
| ? Heliox-30 (30% O2+70% He) | ? 合成氣體 40% H2+29% CO+20% CO2+11% CH4 | ? R-124 Chlorotetrafluoroethane (C2HClF4) |
| ? Heliox-40 (40% O2+60% He) | ? 合成氣體 64% H2+28% CO+1% CO2+7% CH4 | ? R-125 Pentafluoroethane (C2HF5) |
| ? Heliox-50 (50% O2+50% He) | ? 合成氣體 70% H2+4% CO+25% CO2+1% CH4 | ? R-134A Tetrafluoroethane (CH2FCF3) |
| ? Heliox-60 (60% O2+40% He) | ? 合成氣體 83% H2+14% CO+3% CH4 | ? R-142B Chlorodifluoroethane (CH3CClF2) |
| ? Heliox-80 (80% O2+20% He) | ? R-143A Trifluoroethane (C2H3F3) | |
| ? Heliox-99 (99% O2+1% He) | ? R-152A Difluoroethane (C2H4F2) | |
| ? Metabolic Exhalant (16% O2+78.04% N2+5% CO2+0.96% Ar) | ? RC-318 Octafluorocyclobutane (C4F8) | |
| ? R-404A (44% R-125+4% R-134A+52% R-143A) | ||
| ? R-407C (22% R-32+25% R-125+52% R-134A) | ||
| ? R-410A (50% R-32+50% R-125) | ||
| ? R-507A (50% R-125+50% R-143A) | ||
| 色譜氣體 | 氧濃縮器混合氣 | |
| ? P-5 (5% CH4+95% Ar) | ? 89% O2+7% N2+4% Ar | |
| ? P-10 (10% CH4+90% Ar) | ? 93% O2+3% N2+4% Ar | |
| ? 95% O2+1% N2+4% Ar | ||
| 焊接氣體 | 煙氣 | 激光氣體 |
| ? C-2 (2% CO2+98% Ar) | ? 2.5% O2+10.8% CO2+85.7% N2+1% Ar | ? 4.5% CO2+13.5% N2+82% He |
| ? C-8 (8% CO2+92% Ar) | ? 2.9% O2+14% CO2+82.1% N2+1% Ar | ? 6% CO2+14% N2+80% He |
| ? C-10 (10% CO2+90% Ar) | ? 3.7% O2+15% CO2+80.3% N2+1% Ar | ? 7% CO2+14% N2+79% He |
| ? C-15 (15% CO2+85% Ar) | ? 7% O2+12% CO2+80% N2+1% Ar | ? 9% CO2+15% N2+76% He |
| ? C-20 (20% CO2+80% Ar) | ? 10% O2+9.5% CO2+79.5% N2+1% Ar | ? 9.4% CO2+19.25% N2+71.35% He |
| ? C-25 (25% CO2+75% Ar) | ? 13% O2+7% CO2+79% N2+1% Ar | ? 9% Ne+91% He |
| ? C-50 (50% CO2+50% Ar) | ||
| ? C-75 (75% CO2+25% Ar) | ||
| ? He-25 (25% He+75% Ar) | ||
| ? He-50 (50% He+50% Ar) | ||
| ? He-75 (75% He+25% Ar) | ||
| ? He-90 (90% He+10% Ar) | ||
| ? A1025 (90% He+7.5% Ar+2.5% CO2) | ||
| ? Stargon CS (90% Ar+8% CO2+2% O2) |
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