▲ SUPER TECH ST系列

質(zhì)量流量控制器是最新一代工業(yè) 微機(jī)電的產(chǎn)品，采用基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的流量  傳感器，適用于廣泛的氣體流量精密測量領(lǐng)域。

ST系列量程覆蓋范圍10sccm-20slpm  (氮?dú)獾刃?, 控制范圍從1%滿量程到100%滿量程。提供Modbus-RTU(基于RS232或RS485)數(shù)字信號或 模擬信號(4-20mA或0-5V)通信接口。所需的電源電 壓為15-32V。ST系列緊湊設(shè)計(jì)只有68mm 的長度和80mm 的高度， 高度是傳統(tǒng)產(chǎn)品尺寸的3/5,并且本產(chǎn)品可以在360° 任意角度下安裝使用。

▲ ALICAT 21系列

ALICAT 21系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。

可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。設(shè)備采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校，可達(dá)到優(yōu)于100 ms的控制速度，并保持極佳穩(wěn)定性，并有超低壓損產(chǎn)品可供您選擇。

▲ B600 系列動態(tài)氣體校準(zhǔn)儀

能夠?qū)崿F(xiàn)將標(biāo)準(zhǔn)氣體按照一定比例進(jìn)行稀釋輸出設(shè)定濃度氣體，最多可連 接四種標(biāo)氣。用于氣體傳感器、氣體分析儀等產(chǎn)品的校準(zhǔn)儀器。該產(chǎn)品基于氣體通過 MFC（質(zhì)量流量控 制器）的原理，并根據(jù) ISO 6145 / 7 等標(biāo)準(zhǔn)制造。具有電容觸摸屏液晶界面，所有功能管理簡單易用。每個質(zhì)量流量控制器是由可追溯的初級標(biāo)準(zhǔn)工廠校準(zhǔn)。每個質(zhì)量流量控制器都由可追溯的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行工廠 校準(zhǔn)，具有 NIST（美國國家標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)研究院）可溯源校準(zhǔn)證書。