產品中心
Product Center
全金屬密封，抗腐蝕性強，滿量程10SCCM~30SLPM，±1.0%SP精度
ST550是全新升級的全金屬密封產品，它除擁有高精度、快速性能之外，在泄漏率方面做的更低，非常適用于高真空、強腐蝕或對泄漏率有高要求的場合。
應用及案例
? 半導體設備
? 工業爐窯
? 分析儀器
? 生物發酵培養設備
? 醫療設備
? 燃料電池
? 燃燒行業
? 汽車零部件檢測
? 真空鍍膜
? 光伏
? 食品和制藥
? 實驗室等
產品特點
? 采用隔膜式的全金屬密封MFC，經過EP以及氧化覆膜處理，可以兼容腐蝕性介質
? 帶顯示屏（如果選RS485則不帶顯示屏）
? 數字通訊：可選RS485,DeviceNet?,EtherCAT?
? 可選IGS W型密封圈接頭
? 響應時間快：＜1秒
? 高精度：精度±1.0%SP(>10%FS);±0.1%FS(≤10%FS)
? 量程可切換：支持修改滿量程的30~110%
? 泄漏率低至＜1.0x10-11pa*m3/sec(He)
傳感器類型 | 熱式繞線型 | ||
閥 門 | 比例電磁閥（斷電時關閉） | ||
適用氣體※1 | 干燥的兼容性氣體 | ||
量 程※2 | 10、30、50、100、300、500SCCM， 1、3、5、10 SLPM | 30 SLPM | |
控制范圍 | 2~100%FS | ||
響應時間 | ＜1s | ||
精 度 | ±1%SP（10～100%FS）；±0.1%FS（2～10%FS） | ||
重 復 性 | ± 0.2%FS | ||
動作壓差 | L型 | 50~149 KPa | 50~199 KPa |
H型 | 150~300 KPa | 200~300 KPa | |
入口最大壓力 | 300KPa（G） | ||
最大耐壓 | 1MPa（G） | ||
外部泄漏率 | ＜1.0x10-11pa*m3/sec（He） | ||
溫度 | 允許環境溫度 | 5~50 ℃ | |
精度保證溫度 | 15~40 ℃ | ||
允許保存溫度 | 0~60 ℃ | ||
允許環境濕度 | 0~80%RH（未冷凝） | ||
接液材質 | 316L、PTFE、Au、Co-Ni | ||
密封材料 | SUS316L、Au | ||
電氣連接 | RS485 | DB9M接頭、RJ-45模塊化插孔x 2 | |
DeviceNet?/EtherCAT? | M12型5芯接頭 | ||
模擬流量設置信號（只限RS-485） | 0～5VDC（輸入阻抗約1MΩ） 或 4～20mA（輸入阻抗約250Ω） | ||
模擬流量輸出信號（只限RS-485） | 0～5VDC（負載電阻1MΩ以上） 或 4～20mA（負載電阻250Ω以下） | ||
數字通訊 | RS485/DeviceNet?/EtherCAT? | ||
所需電源 | 11-25VDC，（5VA max） | ||
過程接口 | 1.125"W型92 mm或1/4"VCRM | ||
安裝方向 | 建議水平方向 | ||
重 量 | 約1000 g | ||
注：
※1：沒有記載的氣體換算成N2, 細則請另外聯系銷售人員。
※2：流量校準單位SCCM、SLPM分別表示在0℃,1atm 時的體積流量。
品種齊全，上萬種儀表
國外直銷， 原裝進口
誠信服務，售后保證
