ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 21系列

產(chǎn)品特色

● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數(shù)控制，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力

● 標(biāo)配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板

● 可選高精度：優(yōu)于0.5%讀數(shù)

● 量程可控比寬，0.01~100%滿量程

● 響應(yīng)時間快，優(yōu)于30 ms

● 內(nèi)置98種氣體

● 可現(xiàn)場編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲20種混合氣

精度升級

滿量程為0.5 SCCM -10000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級：

質(zhì)量流量普通精度       ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）

質(zhì)量流量高精度           ± 0.5% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）

重復(fù)性                       ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

質(zhì)量流量零點漂移       ± 0.01%滿量程/ ℃（從清零溫度開始）

                                 ± 0.01%滿量程/ Atm（從清零壓力開始）

質(zhì)量流量量程漂移      ± 0.01%讀數(shù)/ ℃（從25℃開始）

                                 ± 0.1 %讀數(shù)/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求      非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類      內(nèi)置了98種氣體，用戶可現(xiàn)場編輯混合氣體 （最多5種成分），并最多存儲20種混合氣

量      程         從0-0.5 SCCM 到 0-10000 SLPM

量程可控比（穩(wěn)態(tài)）    0.01～100%滿量程（R和RH閥門為0.2-100%滿量程）

顯 示 屏      標(biāo)準(zhǔn)為LCD單色顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏

顯示方式      同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精    度         ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）精度升級部分見左下角

                   ±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）（量程5CCM和50-500SLPM可選）

累計流量精度      流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)的額外誤差

重 復(fù) 性      ±（0.2% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

質(zhì)量流量溫度零點和滿量程漂移      0.02%滿量程/ ℃（從25℃開始）

質(zhì)量流量壓力零點和滿量程漂移      ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）

控制響應(yīng)時間(T63)      ＜100ms（與流量相關(guān)，用戶可調(diào)）

顯示響應(yīng)時間      ＜10ms（與流量相關(guān)）

預(yù)熱時間      ＜1s

工作溫度       ± 0.75℃

工作濕度      0 ～ 95 %，無冷凝

工作壓力      11.5-160PSIA

壓力精度      ±0.5%讀數(shù)（＞1Atm），或±0.07PSIA（＜1Atm）

耐       壓      200PSIA（靜壓）；75PSID（進(jìn)出口差壓）

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)字輸入/輸出信號    RS232/RS485串口和Modbus RTU（默認(rèn)）；可選Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet

模擬輸入/輸出信號    0-5Vdc（默認(rèn)）；可選1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA

模擬信號精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號40Hz@19200波特率；

                       模擬信號：1000Hz

屏幕刷新頻率    10Hz

供電電壓       12-24 VDC （與量程相關(guān)，詳情咨詢）

供電電流      250 mA，0.5A，1 A，2 A（與量程相關(guān)，詳情咨詢）

                   額外加 40 mA（4 - 20 mA或0-10Vdc輸出）

電氣接口   DB9M(默認(rèn))，可選DB9、DB15、6針工業(yè)接口、8針M12、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）      選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材    質(zhì)      主體材質(zhì)：302,303,304,316LSS；

                  P和PCV閥門材質(zhì)：430FRSS和黃銅；

                  R閥門材質(zhì)：410SS，Nylon和Derlin；

                 密封材質(zhì)FKM；

      傳感器材質(zhì)請咨詢工廠

過程接口      NPT內(nèi)螺紋（默認(rèn)），詳細(xì)規(guī)格參考壓損表；其他接口形式請咨詢

安裝方向      配置R閥門需閥體垂直向上安裝，其他閥門無要求。

安裝固定孔      8-32UNC螺紋，數(shù)量和孔深與量程相關(guān)，具體請咨詢

防護(hù)等級      IP40（IP66可選）

認(rèn)       證      ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、UKCA、RoHS、REACH聲明、防爆（可選）

選項配件

標(biāo)準(zhǔn)性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預(yù)熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標(biāo)準(zhǔn)圓形電源接口
RS-232多點式數(shù)字輸出
RS-232多點式數(shù)字輸入
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號輸入可選
可調(diào)節(jié)PID算法 
內(nèi)置30種氣體可選
200:1 量程可調(diào)比
NPT接頭
可控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質(zhì)保

可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數(shù)字信號輸出
RS-485數(shù)字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
另一種模擬信號輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠(yuǎn)程顯示屏
遠(yuǎn)程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠(yuǎn)程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標(biāo)定點
定制混個氣體（最多4種）
定制流量范圍
不銹鋼閥門
高流量低壓損閥門
防爆選項
集成式電位計控制

操作手冊

朗潤達(dá)-ALICAT 簡易操作說明-氣體質(zhì)量流量控制器22V1.pdf

機(jī)構(gòu)認(rèn)證

尺寸詳圖

尺寸壓損

產(chǎn)品大圖

型號列表

見“尺寸連接”。

氣體編碼

宣傳彩頁

ALICAT 21系列25V1.pdf