ALICAT 氣體質量流量計-抗腐蝕型 20S系列

量程0.5 SCCM -10000 SLPM，優于1 %的精度

美國ALICAT 20S系列抗腐蝕型質量流量計，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。
可精確、快速測量腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合。

應用及案例

● 大學/研究所

● 泄漏檢測

● 環境監測

● 真空行業及鍍膜

● 工業爐窯

● 半導體

● 汽車制造

● 計量校準

● 過程工藝氣體測量

產品特色技術指標選項配件操作手冊機構認證尺寸詳圖尺寸壓損產品大圖型號列表氣體編碼

產品特色

● 數字化產品

● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 可選高精度：優于0.5%

● 可適用于諸多腐蝕性氣體

● 可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

技術指標

介質要求潔凈、干燥的腐蝕性和非腐蝕性氣體

介質種類內置了130種氣體，用戶可現場編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲20種混合氣

量程從0-0.5 SCCM 到 0-10000 SLPM

測量范圍（量程比） 1～100%滿量程

顯示屏標準為LCD單色顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏

顯示方式同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精度 ±（0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程）

±（0.4 %讀數 + 0.2 %滿量程）（量程5 SCCM - 500 SLPM可選）

累計流量精度流量精度之外增加± 0.5 %讀數額外誤差

重復性 ± 0.2 %滿量程

質量流量零點和滿量程溫度漂移 0.02%滿量程/℃（從25℃開始）

質量流量零點和滿量程壓力漂移 ±(0.08% 讀數+ 0.02% 滿量程)（從校準壓力開始）

顯示響應時間：10-4000ms（與流量相關，用戶可調）

預熱時間＜1 s

工作溫度 -10 ~ 60 ℃（環境和氣體）（可選高溫選項，氣體100℃，環境85℃）

溫度精度 ±0.75℃

工作濕度 0 ～95 %，無冷凝

工作壓力 11.5-160PSIA

壓力精度 ±0.5%滿量程

耐壓 200PSIA（靜壓）；75PSID（進出口差壓）

滿量程壓損參考詳細壓損表

數字輸出信號 RS232/RS485串口和Modbus RTU（默認）；可選Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet

模擬輸出信號 0-5Vdc（默認）；可選1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA

數據刷新頻率數字信號40 Hz@ 19200波特率；

模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率 10 Hz

模擬信號精度在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓 9-24VDC （如選4-20 mA或0-10Vdc輸出，須為12 - 24 VDC ）

供電電流 40mA ；額外增加40mA輸出電流對于4-20 mA輸出

電氣接口 DB9M(默認)，可選DB9、DB15、6針工業接口、8針M12、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10^-9Atm cc/s He

接液材質主體和傳感器材質：316LSS

密封材質：FFKM（標準)，可根據特殊氣體選用FKM、EPDM等密封材質

過程接口 NPT內螺紋（默認），詳細規格參考壓損表；其他接口形式請咨詢

安裝方向建議與地面垂直安裝

安裝固定孔 8-32UNC螺紋，數量和孔深與量程相關，具體請咨詢

防護等級 IP40（IP66可選）

認證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、UKCA、RoHS、REACH聲明、防爆（可選）

選項配件

操作手冊

朗潤達-ALICAT 簡易操作說明-氣體質量流量計21V1.pdf

機構認證

尺寸詳圖

ALICAT 20S系列-尺寸圖.jpg

尺寸壓損

滿量程耐防腐質量流量計	滿量程壓損（psid）排氣到大氣中	外形尺寸	過程接口	重量
0.5sccm - 50 sccm	1.0	4.40''H ×2.38''W ×1.05''D	M5內螺紋（10-32兼容）（隨貨帶FFKM面密封轉1/8''NPT內螺紋接頭）	約0.8lb(0.4kg)
100 sccm - 20 slpm	1.0	4.57''H ×2.38''W ×1.05''D	1/8''NPT內螺紋	約1.0lb(0.5kg)
50 slpm	2.0	5.07''H ×4.00''W ×1.60''D	1/4''NPT內螺紋	約2.8lb(1.3kg)
100 slpm	2.5	5.07''H ×4.00''W ×1.60''D	1/4''NPT內螺紋	約2.8lb(1.3kg)
250 slpm	2.1	5.67''H ×4.00''W ×1.60''D	1/2''NPT內螺紋	約3.5lb(1.6kg)
500 slpm	4.0	5.67''H ×4.00''W ×1.60''D	3/4''NPT內螺紋	約3.5lb(1.6kg)
1000 slpm	6.0	5.67''H ×4.00''W ×1.60''D	3/4''NPT內螺紋
2000 slpm	5.0	5.99''H ×5.20''W ×2.90''D	3/4''NPT內螺紋	約4.5lb(2.0kg)
3000 slpm	7.1	5.99''H ×5.20''W ×2.90''D	1-1/4''NPT內螺紋	約4.5lb(2.0kg)
5000 slpm	3.4	7.08''H ×5.60''W ×3.84''D	1-1/2''NPT內螺紋	約14.0lb(6.4kg)
10000 slpm	3.5	7.08''H ×5.60''W ×3.84''D	1-1/2''NPT內螺紋	約14.0lb(6.4kg)

產品大圖

20S封面.jpg

型號列表

見“尺寸壓損”。

氣體編碼

氣體編號列表.png