ALICAT 氣體質量流量控制器 01系列

產品特色

● 價格低廉，性能卓越

● 超小的體積，輕松置于掌心，適合系統(tǒng)集成

● 快速響應，優(yōu)于70 ms的預熱時間

● 壓損極低，最小滿量程壓損僅為1KPa

● 內置精巧的PD閥（比例微分閥），控制穩(wěn)定、精確

● 測量和控制范圍0.5 ~ 100%滿量程，一臺設備適用于多個應用

● 配備模擬控制和數(shù)字控制

● 卓越的抗振性能，可適用于鐵路焊機等嚴格場合

技術指標

介質要求    潔凈、干燥、無腐蝕性氣體

介質種類    每臺設備只能選擇A，B，C其中一種

                  A：空氣（AIR）、氬氣(Ar)、二氧化碳(CO2)、氮氣(N2)、          

                   氧氣(O2)、一氧化二氮(N2O)，可通過數(shù)字方式切換

                   B：氦氣(He)；

                   C：氫氣(H2)，其他氣體需咨詢     

量        程    0-100 SCCM ，0-1000 SCCM， 0-20 SLPM，0- 50 SLPM                       

                  （注：選擇CO2和N2O后量程降低為原來的75%）

測量和控制范圍    1 ~ 100%滿量程 （0-100 SCCM）

                             0.5 ~ 100%滿量程

                            （0-1000 SCCM、0-20 SLPM、0-50 SLPM）

精       度    ±（1.5 % 讀數(shù) + 0.5 % 滿量程）

重  復  性    ± 0.5 % 讀數(shù)

質量流量溫度漂移    ± 0.2 % 滿量程 / ℃

時間漂移    0.05%滿量程/年

累計流量精度：標準精度額外增加±2%讀數(shù)

響應時間    優(yōu)于100 ms                   

預熱時間    70 ms

默認標準狀況（STP）    25℃ & 1Atm（其它標況可定制）

工作溫度    0 ～ 50℃                     工作濕度    <  90 %，無冷凝

最大工作壓力    0-100 SCCM、0-1000 SCCM、0-50SLPM為145PSIG                     

                          0-20 SLPM為60 PSIG

耐       壓    175 PSIG

數(shù)字輸入/輸出信號    RS485或RS232，Modbus RTU協(xié)議

模擬輸入/輸出信號    0 - 5 VDC或4 - 20 mA

模擬信號刷新頻率    400 Hz

供電電壓    10-30 VDC                    

供電電流    200 mA

泄  漏  率    閥門泄露：10-5 Atm cc/sec He ，外漏：10-9 Atm cc/sec He       

材        質    主體材質： 316不銹鋼

                  閥體材質：黃銅，302，303，430FR不銹鋼

                  密封材質：FKM（Viton）；傳 感 器：氮化硅

過程連接    NPT或SAE內螺紋

振       動    20g；MIL-STD-883E，Method 2002.4

安裝方式    對位置無要求                 

閥門類型：常閉 

防護等級    IP40

認       證    CE、RoHS、REACH

選項配件

操作手冊

機構認證

尺寸詳圖

尺寸壓損

產品大圖

型號列表

見“尺寸壓損”。

氣體編碼

* 混合氣體編碼為“800”，選項中須有具體混合氣體比例說明。

* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。

* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產品，可支持①類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產品，可支持①、②類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計產品，可支持①、②、③類氣體。

* 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。