ALICAT 氣體質量流量控制器-雙向型 22系列

產品特色

●  數字化產品，雙向流量控制

●  多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

●  多參數控制:體積流量、質量流量和壓力

●  標配三種控制方式：數字、模擬和本地面板

●  可選高精度：可優于0.5%

●  高量程比 200：1

●  響應時間快 僅需100 ms（可調）

●  內置98種氣體

●  可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

技術指標

介質要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類：內置了98種氣體，請參考“產品資料下載”氣體兼容表
一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量程：從-0.5SCCM～0.5SCCM 到-3000SLPM～3000SLPM
量程比：200:1
最大顯示流量：-100%FS～100%FS
顯示屏：帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式：同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數 FS-雙向滿量程
高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備
重復性：± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移：0.02% FS / ?C / Atm
響應時間：100ms(可調) 預熱時間：<1s
標定工況：25?C & 100kPa 絕壓、20?C & 100kPa 絕壓、0?C & 100kPa 絕壓 (三種工況現場可切換)
工作溫度：-10 ～ +50 ?C
工作濕度：0-100%,無冷凝
標準最大工作壓力：1MPa 表壓
標準極限耐壓：1.2MPa 表壓

中壓選項：2MPa
數字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可選第二路模擬輸出：質量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流：250mA ～ 750mA
電氣接口：8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業接頭
材質：302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁、黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃
安裝方式：對位置無要求 防護等級：IP40
* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需咨詢我們

選項配件

1

安裝手冊

1

機構認證

1

產品詳圖

1

尺寸大圖

1

型號列表

1

氣體編碼

* 混合氣體編碼為“800”，選項中須有具體混合氣體比例說明。

* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。

* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產品，可支持①類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產品，可支持①、②類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計產品，可支持①、②、③類氣體。

* 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。