ALICAT 低壓損氣體質(zhì)量流量控制器 21W系列

量程0.5 SCCM - 1000 SLPM，優(yōu)于1 %的精度，量程可控比寬,優(yōu)于100 ms響應(yīng)時間

美國ALICAT 21W系列低壓降質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。

應(yīng)用及案例

● 低溫容器檢測

● 大學(xué)/研究所

● 泄漏檢測

● 環(huán)境監(jiān)測

● 汽車制造

● 過程工藝氣體測量

產(chǎn)品特色精度升級技術(shù)指標(biāo)選項配件操作手冊機(jī)構(gòu)認(rèn)證尺寸詳圖尺寸壓損產(chǎn)品大圖氣體編碼宣傳彩頁

產(chǎn)品特色

● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數(shù)可控：質(zhì)量流量、體積流量和壓力

● 可選高精度：優(yōu)于0.6 %讀數(shù)

● 量程可控比寬，0.5~100 %滿量程

● 滿量程低壓損為480 Pa

● 閥門響應(yīng)時間快，優(yōu)于150 ms

● 內(nèi)置98種氣體

● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

精度升級

量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級：

質(zhì)量流量普通精度 ± 0.75% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）

質(zhì)量流量高精度 ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）

質(zhì)量流量零點漂移 ± 0.03% 滿量程 / ℃（從清零溫度開始）

± 0.01% 滿量程 / Atm（從清零壓力開始）

質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數(shù) / ℃（從25℃開始）

± 0.1 % 讀數(shù) / Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類內(nèi)置了98種氣體，用戶可現(xiàn)場編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲20種混合氣

量程從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

量程可控比（穩(wěn)態(tài)） 0.5～100%滿量程

顯示屏標(biāo)準(zhǔn)為LCD單色顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏

顯示方式同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精度 ±（0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）精度升級部分見左下角

±（0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）（量程5CCM和250-500SLPM可選）

累計流量精度流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)誤差

重復(fù) 性 ±（0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程）

質(zhì)量流量溫度零點和滿量程漂移 0.03%滿量程/ ℃（從25℃開始）

質(zhì)量流量壓力零點和滿量程漂移 ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）

控制響應(yīng)時間（T63調(diào)）＜150ms(與量程有關(guān)，用戶可調(diào))

顯示響應(yīng)時間＜127ms（用戶可調(diào)）

預(yù)熱時間＜ 1 s

工作溫度 -10 ~ 60 ℃（環(huán)境和氣體）（可選高溫選項，氣體100℃，環(huán)境85℃）

溫度精度 ± 0.75 ℃

工作濕度 0 ～ 95 %，無冷凝

工作壓力 11.5-60PSIA

壓力精度 ±0.75%讀數(shù)（＞1 Atm）；

±0.1PSIA（＜1Atm）

耐壓： 80PSIA（靜壓）；10PSID（進(jìn)出口差壓）

滿量程壓損參考詳細(xì)壓損表

數(shù)字輸入/輸出信號 RS232/RS485串口和Modbus RTU（默認(rèn)）；可選Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet

模擬輸入/輸出信號 0-5Vdc（默認(rèn)）；可選1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA

數(shù)據(jù)刷新頻率數(shù)字信號40 Hz@19200波特率；

模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率 10 Hz

模擬信號精度在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓 12 - 30 VDC （與量程有關(guān)）

供電電流 250 mA，1 A，2 A；額外加 40 mA（ 4 - 20 mA輸出）

電氣接口 DB9M(默認(rèn))，可選DB9、DB15、6針工業(yè)接口、8針M12、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10^-9Atm cc/s He

材質(zhì) 主體材質(zhì)：302,303,304SS；

PCV閥門材質(zhì)：430FRSS和黃銅；

R閥門材質(zhì)：410SS；

密封材質(zhì)FKM；

傳感器材質(zhì)請咨詢工廠

過程接口 NPT內(nèi)螺紋（默認(rèn)），詳細(xì)規(guī)格參考壓損表；其他接口形式請咨詢

安裝方向配置R閥門需閥體垂直向上安裝，其他閥門無要求

安裝固定孔 8-32UNC螺紋，數(shù)量和孔深與量程相關(guān)，具體請咨詢

防護(hù)等級 IP40（可選IP66）

認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、UKCA、RoHS、REACH聲明、防爆（可選）

選項配件

待更新。

操作手冊

朗潤達(dá)-ALICAT 簡易操作說明-氣體質(zhì)量流量控制器21V1.pdf

機(jī)構(gòu)認(rèn)證

待更新。

尺寸詳圖

尺寸圖低段.png

尺寸壓損

滿量程低壓損氣體質(zhì)量流量控制器	滿量程壓損（psid）排氣到大氣中與閥門配置有關(guān)	外形尺寸	過程接口	重量
0.5-20 sccm	0.07	3.90''H x 3.34''W x 1.05''D	M5內(nèi)螺紋（10-32兼容）（隨貨帶Buna-N面密封轉(zhuǎn)1/8''NPT內(nèi)螺紋接頭）	1.1lb（約0.5kg）
50-500 sccm	0.07	4.07''H x 3.59''W x 1.05''D	1/8'' NPT 內(nèi)螺紋	1.2lb（約0.5kg）
1 slpm	0.10
2 slpm	0.18
5 slpm（配置R閥門）	0.10	4.37''H x 5.41''W x 1.60''D	1/4''NPT內(nèi)螺紋	9.0lb（約4.1kg）
10 slpm（配置R閥門）	0.12	4.37''H x 5.41''W x 1.60''D
20 slpm（配置R閥門）	0.26	4.37''H x 4.00''W x 1.60''D
40 slpm	0.14	5.50''H x 7.65''W x 2.25''D	1/2'' NPT 內(nèi)螺紋	9.0lb（約4.1kg）
50 slpm	0.17	5.50''H x 7.28''W x 2.25''D	3/4'' NPT 內(nèi)螺紋	9.0lb（約4.1kg）
100 slpm	0.30
250 slpm	0.69
500 slpm	0.69	5.50''H x 8.10''W x 2.90''D	3/4'' NPT 內(nèi)螺紋	12lb（約5.4kg）
1000 slpm	1.65	6.27''H x 9.80''W x 3.84''D	2'' NPT 內(nèi)螺紋	28lb（約12.7kg）

產(chǎn)品大圖

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氣體編碼

氣體編號列表.png

宣傳彩頁

ALICAT 21W系列25V1.pdf