ALICAT 氣體質量流量控制器-基本型 11系列

產品特色

● 低價位產品

● 標配模擬和數字信號

● 量程可控比0.01%-100%

● 響應時間快 僅需100ms（可調）

技術指標

介質要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類    內置了 98 種氣體，請參考背面，一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量       程    從0-100 SCCM 到 0-250 SLPM（詳情請咨詢）

測量和控制范圍    0.01~100% 滿量程

最大顯示流量    102.4%FS

精       度    ± （0.8%RD+0.2%FS），RD-讀數 FS-滿量程

重  復 性    ±（0.2% 讀數 + 0.02% 滿量程）

零點&滿量程溫度漂移：    0.02% FS / ℃ （從25 ℃開始）

零點&滿量程壓力漂移：    ±（0.08% 讀數 + 0.02% 滿量程）（從校準壓力開始）

預熱時間   <1s

響應時間    100 ms（可調）

默認標況（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）

工作溫度    -10 ～ +60 ℃

工作濕度    0 - 95%，無冷凝

上限工作壓力    1 MPa 表壓

極限耐壓    1.1 MPa 表壓

下限操作壓力    建議在絕壓 80 KPa 以上使用（其他請咨詢）

模擬輸入/輸出信號   0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

數字輸入/輸出信號   RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）

供電電壓    12-24VDC （如選4-20 mA輸出，須為15-24 VDC）供電電流    250 mA，1 A（詳情咨詢）額外加40 mA（選4 - 20 mA）

電氣接口    DB9M

材       質    302、303、304、316L、430FR 不銹鋼、 FKM氟橡膠、 陶瓷、             

                  銅、玻璃、金、環氧樹脂、硅橡膠、 聚酰胺、硅

安裝方式    對位置無要求 

防護等級    IP40

選項配件

1

安裝手冊

稍后更新

機構認證

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尺寸詳圖

1

產品大圖

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型號列表

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氣體編碼