ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-雙向型 22S系列

產(chǎn)品特色

●  數(shù)字化產(chǎn)品

●  多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

●  多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力

●  可選高精度：優(yōu)于0.5%

●  高量程比 100：1

●  響應(yīng)時(shí)間快 僅需100ms（可調(diào)）

●  內(nèi)置128種常規(guī)以及腐蝕性氣體

●  可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣

●  可適用于諸多腐蝕性氣體

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求    潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質(zhì)種類    內(nèi)置了128種氣體，請(qǐng)參考背面氣體兼容表一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量量程程    從-0.5SCCM～0.5SCCM 到-5000SLPM～5000SLPM

量程比比    100：1

最大顯示流量    -100%FS～100%FS

顯示屏屏    帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精精度度    ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程

高精高度    ±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備

重復(fù)復(fù)性    ± 0.2% FS

零點(diǎn)漂移&滿量程漂移：0.02% FS / ℃/ Atm

響應(yīng)時(shí)間    100ms(可調(diào)) 預(yù)熱時(shí)間：<1s

標(biāo)定工況    25℃ & 100kPa 絕壓、20℃ & 100kPa、絕壓0℃ & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場(chǎng)可切換)

工作溫度    -10 ～ +50 ℃

工作濕度    0-100%，無冷凝

標(biāo)準(zhǔn)最大工作壓力    1MPa 表壓

標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓    1.2MPa 表壓

中壓選項(xiàng)    2MPa

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)    RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模擬輸入/輸出信號(hào)    0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度

供電電壓    7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)

供電電流    250mA ～ 750mA

電氣接口    8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭

材材質(zhì)質(zhì)    316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

可根據(jù)特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

安裝方式    對(duì)位置無要求 

防護(hù)等級(jí)    IP40

* 如選Profibus，則無模擬信號(hào)，無顯示，其供電電壓及供電電流需咨詢我們

選項(xiàng)配件

1

安裝手冊(cè)

1

機(jī)構(gòu)認(rèn)證

1

尺寸詳圖

1

產(chǎn)品大圖

1

型號(hào)列表

1

氣體編碼

* 混合氣體編碼為“800”，選項(xiàng)中須有具體混合氣體比例說明。

* 對(duì)于液體流量計(jì)和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。

* ALICAT非抗腐蝕流量計(jì)/控制器產(chǎn)品，可支持①類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品，可支持①、②類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計(jì)產(chǎn)品，可支持①、②、③類氣體。

* 未在表中列出的氣體，也可能被測(cè)控，具體請(qǐng)咨詢我們。