ALICAT 高壓氣體質(zhì)量流量計(jì) 20Q系列

滿量程10 SCCM - 10000 SLPM，測量范圍廣，優(yōu)于10 ms響應(yīng)時(shí)間，高壓應(yīng)用實(shí)時(shí)多元流量測量

這款多功能20Q系列高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)可縮短檢定或驗(yàn)證高壓（160-320 psia）條件下運(yùn)行流量所需時(shí)間，還能夠同時(shí)實(shí)時(shí)測量質(zhì)量流量、體積流量、管線壓力和管線溫度。

應(yīng)用及案例

● 大學(xué)/研究所 ● 泄漏檢測

● 環(huán)境監(jiān)測 ● 真空行業(yè)及鍍膜

● 汽車制造 ● 燃料電池

● 計(jì)量校準(zhǔn) ● 過程工藝氣體測量

● 工業(yè)爐窯 ● 半導(dǎo) 體

● 光伏

產(chǎn)品特色精度升級(jí)技術(shù)指標(biāo)選項(xiàng)配件包裝清單操作手冊尺寸詳圖尺寸壓損產(chǎn)品大圖型號(hào)列表氣體編碼

產(chǎn)品特色

● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 可測范圍廣，0. 1~100%滿量程

● 響應(yīng)時(shí)間快，優(yōu)于10 ms

● 內(nèi)置98種氣體

● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣

精度升級(jí)

量程為10 SCCM - 10000 SLPM

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級(jí)：

質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6%讀數(shù) 或± 0.1%滿量程（取最大值）

測量范圍 0.1 ~ 100%滿量程

重復(fù)性 ± 0.1%滿量程

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類內(nèi)置了98種氣體，用戶可現(xiàn)場編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲(chǔ)20種混合氣

量程從0 - 10 SCCM 到 0 - 10000 SLPM

測量范圍（量程比） 0.2% ~ 100%滿量程

顯示屏標(biāo)準(zhǔn)為LCD單色顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏

顯示方式同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

精度 ± 2%滿量程精度升級(jí)部分見左下角

累計(jì)流量精度流量精度之外增加± 0.5 %讀數(shù)額外誤差

重復(fù) 性 ± 0.2%滿量程

質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃（從25℃開始）

± 0.01%滿量程/ Atm（從清零壓力開始）

質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01%讀數(shù)/ ℃（從25℃開始）

± 0.1 %讀數(shù)/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）

響應(yīng)時(shí)間＜10 ms（與流量相關(guān)）

預(yù)熱時(shí)間 < 1 s

工作溫度 -10 ～ 60 ℃（環(huán)境和氣體）

溫度精度 ± 0.75 ℃

工作濕度 0 ~ 95% 無冷凝

工作壓力 11.5-320 PSIA

壓力精度 ± 0.5 % 讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）

耐壓 400PSIA（靜壓）；75PSID（進(jìn)出口差壓）

滿量程壓損參考詳細(xì)壓損表

數(shù)字輸出信號(hào) RS232/RS485串口和Modbus RTU（默認(rèn)）；可選Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet

模擬輸出信號(hào) 0-5Vdc（默認(rèn)）；可選1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA

數(shù)據(jù)刷新頻率數(shù)字信號(hào)40 Hz@ 19200波特率；

模擬信號(hào)：1000 Hz

屏幕刷新頻率 10 Hz

模擬信號(hào)精度在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓 9-24 VDC （如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出，須為12 - 24VDC）

供電電流 40mA ，額外加 40 mA（4 - 20 mA輸出）

電氣接口 DB9M(默認(rèn))，可選DB9、DB15、6針工業(yè)接口、8針M12、8針Mini-DIN等

材質(zhì) 主體材質(zhì)：302,303,304,316LSS；密封材質(zhì)FKM；傳感器材質(zhì)請咨詢工廠

泄漏率（外漏）選擇HLCP選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10^-6Atm cc/s He

過程接口 NPT內(nèi)螺紋（默認(rèn)），詳細(xì)規(guī)格參考?jí)簱p表；其他接口形式請咨詢

安裝方向位置不敏感

安裝固定孔 8-32UNC螺紋，數(shù)量和孔深與量程相關(guān)，具體請咨詢

防護(hù)等級(jí) IP40（IP66可選）

認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、UKCA、RoHS、REACH聲明、防爆（可選）

選項(xiàng)配件

（需另行訂購）

過程端口接頭和過濾器

電源

通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜

BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒

Flow Vision軟件

包裝清單

MQ系列高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)（電源需另行訂購）

NIST可溯源校準(zhǔn)證書

艾里卡特操作說明書

操作手冊

朗潤達(dá)-ALICAT 簡易操作說明-氣體質(zhì)量流量計(jì)21V1.pdf

尺寸詳圖

20Q尺寸圖.png

尺寸壓損

滿量程質(zhì)量流量計(jì)	滿量程壓損（PSID）排氣到大氣中	外觀尺寸1	過程連接尺寸2
10 SCCM ~ 50 SCCM	1.0	3.9''H x 2.4''W x 1.1''D	M-5 （10-32）（內(nèi)螺紋）（Buna-N表面密封至1/8''NPT內(nèi)螺紋）
100 SCCM ~ 20 SLPM	1.0	4.1''H x 2.4''W x 1.1''D	1/8'' NPT 內(nèi)螺紋
50 SLPM	2.0	4.4''H x 4.0''W x 1.6''D	1/4'' NPT 內(nèi)螺紋
100 SLPM	2.5	4.4''H x 4.0''W x 1.6''D	1/4'' NPT 內(nèi)螺紋
250 SLPM	2.1	5.0''H x 4.0''W x 1.6''D	1/2'' NPT 內(nèi)螺紋
500 SLPM	4.0	5.0''H x 4.0''W x 1.6''D	3/4'' NPT 內(nèi)螺紋
1000 SLPM	6.0	5.0''H x 4.0''W x 1.6''D
2000 SLPM	5.0	5.3''H x 5.2''W x 2.9''D
3000 SLPM	7.1	5.3''H x 5.2''W x 2.9''D	1-1/4'' NPT 內(nèi)螺紋
注1、公制數(shù)據(jù)見圖紙； 2、與Swagelok?管、Parker?、表面密封、快接接頭和卡套轉(zhuǎn)接頭相兼容，也可根據(jù)要求連接VCR和SAE。

產(chǎn)品大圖

型號(hào)列表

見“尺寸壓損”。

艾里卡特20Q系列高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)適用于非腐蝕性氣體。

艾里卡特20QS系列高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)適用于腐蝕性氣體。

氣體編碼

氣體編號(hào)列表.png