產品中心
Product Center
滿量程10 SCCM - 10000 SLPM），優于2 %的精度，優于100 ms響應時間，適用于高壓應用
21Q系列氣體質量流量控制器，同我們的標準控制器一樣，能對需要較高管線壓力（160-320 PSIA）的應用環境進行快速控制響應。這款高壓應用質量流量控制器可快速達到新的設定值，并保持該設定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據您的應用參數為您定制閥門和PID調節功能，確保相關產品能夠快速實現穩定控制。
應用及案例
● 大學/研究所 ● 環境監測
● 真空行業及鍍膜 ● 工業爐窯
● 半 導 體 ● 汽車制造
● 光 伏 ● 燃料電池
● 計量校準 ● 過程工藝氣體測量
產品特色
數字化產品
多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
穩態控制范圍廣，0. 5~100%滿量程
響應時間快，優于100 ms
內置98種氣體
可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
量程為10 SCCM - 10000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度 ± 0.6%讀數 或± 0.1%滿量程（取最大值）
測量范圍 0.1 ~ 100%滿量程
重復性 ± 0.1%滿量程
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了98種氣體，用戶可現場編輯混合氣體 （最多5種成分），并最多存儲20種混合氣
量 程 從0 - 10 SCCM 到 0 - 10000 SLPM
量程可控比（穩態） 0.5% ~ 100%滿量程
顯 示 屏 標準為LCD單色顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度
精 度 ± 2%滿量程 精度升級見左下角
累計流量精度 流量精度之外增加± 0.5 %讀數額外誤差
重 復 性 ± （0.1%讀數+0.02%滿量程）
質量流量零點漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃（從25℃開始）
± 0.01%滿量程/ Atm（從清零壓力開始）
質量流量量程漂移 ± 0.01%讀 數/ ℃（從25℃開始）
± 0.1 %讀 數/ Atm（從校準壓力開始）
控制響應時間（T63） ＜100 ms（與流量相關，用戶可調）
顯示響應時間 ＜10ms（與流量相關）
預熱時間 ＜1s
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（環境和氣體）
溫度精度 ± 0.75℃
工作濕度 0 ~ 95%，無冷凝
工作壓力 11.5-320PSIA
壓力精度 ± 0.5 % 讀數（讀數＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）
耐 壓 400PSIA（靜壓）；75PSID（進出口差壓）
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數字輸入/輸出信號 RS232/RS485串口和Modbus RTU（默認）；可選Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet
模擬輸入/輸出信號 0-5Vdc（默認）；可選1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA
數據刷新頻率 數字信號40Hz@19200波特率；
模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10Hz
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差
供電電壓 12 - 24VDC（與量程相關）
供電電流 0.250 -2A（與量程相關；+40mA，對于4-20mA輸出）
電氣接口 DB9M（默認），可選DB9、DB15、6針工業接口、8針M12、8針Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 選擇HLCP選項，泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He
材 質 主體材質：302,303,304和316LSS；
PCV閥門材質：430FRSS和黃銅；
R閥門材質：410SS，Nylon和Derlin；
密封材質FKM；
傳感器材質請咨詢工廠
過程接口 NPT內螺紋（默認），詳細規格參考壓損表；其他接口形式請咨詢
安裝方向 配置R閥門需閥體垂直向上安裝，其他閥門無要求
安裝固定孔 8-32UNC螺紋，數量和孔深與量程相關，具體請咨詢
防護等級 IP40（可選IP66）
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、UKCA、RoHS、REACH聲明、防爆 （可選）
（需另行訂購）
● 過程端口接頭和過濾器
● 電源
● 通訊線纜和轉換線纜
● BB3和BB9多點式集線盒
● Flow Vision軟件
● MCQ系列高壓氣體質量流量控制器（電源需另行訂購）
● NIST可溯源校準證書
● 艾里卡特操作說明書
滿量程高壓質量流量控制器 | 滿量程壓損（psid） 排氣到大氣中 默認閥門配置 | 外形尺寸 | 過程接口 | 重量 |
10 SCCM | 2.8 | 3.90''H x 3.34''W x 1.05''D | M5內螺紋（10-32兼容） （隨貨帶Buna-N面密封轉1/8''NPT內螺紋接頭） | 1.1lb（約0.5kg） |
50 SCCM | 1.0 | |||
100 SCCM ~ 500 SCCM | 1.0 | 4.07''H x 3.59''W x 1.05''D | 1/8'' NPT 內螺紋 | 1.2lb（約0.5kg） |
1 SLPM | 1.5 | |||
2 SLPM | 3.0 | |||
5 SLPM | 2.0 | |||
10 SLPM | 5.5 | |||
20 SLPM | 20.0 | |||
50 SLPM(配置R閥門) | 2.0 | 5.50''H x 8.03''W x 2.25''D | 1/4'' NPT 內螺紋 | 9.0lb（約4.1kg） |
100 SLPM（配置R閥門） | 3.2 | |||
250 SLPM（配置R閥門） | 2.4 | 5.50’’H x 7.65’’W x 2.25’’D | 1/2’’ NPT 內螺紋 | 9.0lb（約4.1kg） |
500 SLPM | 6.5 | 5.50’’H x 7.28’’W x 2.25’’D | 3/4’’ NPT 內螺紋
| 9.0lb（約4.1kg） |
1000 SLPM | 14.0 | |||
2000 SLPM | 28.6 | 5.50’’H x 8.10’’W x 2.90’’D | 12lb（約5.4kg） | |
3000 SLPM | 16.8 | 5.50’’H x 8.90’’W x 2.90’’D | 1-1/4’’ NPT 內螺紋 | 12lb（約5.4kg） |
5000 SLPM | 14.1 | 6.33’’H x 10.00’’W x 4.50’’D | 1-1/2’’ NPT 內螺紋 | 28lb（約12.7kg） |
10000 SLPM | 12.0 | 6.33’’H x 9.73’’W x 4.50’’D | 1-1/2’’ NPT 內螺紋 | 23lb（約10.4kg） |
品種齊全，上萬種儀表
國外直銷， 原裝進口
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