ALICAT CVD專用氣體質(zhì)量流量控制器 51系列

量程0-0.5 SCCM到0-20 SLPM，量程可控比0.01%-100%，低價位，響應時間優(yōu)于30 ms，精度優(yōu)于1%

Alicat51系列質(zhì)量流量控制器是基于層流壓差原理的，利用獨特的層流元件使流體處于層流狀態(tài)，使用差壓傳感器測量流體上下游兩個位置的壓差，流量越大則壓差越大，根據(jù)泊肅葉方程計算出工況體積流量，再使用壓力和溫度傳感器讀數(shù)對體積流量進行溫壓補償?shù)玫綐藳r質(zhì)量流量。Alicat質(zhì)量流量控制器將流量計和電磁比例閥集成為一體，具有閉環(huán)控制回路，根據(jù)傳感器流量讀數(shù)自動實時調(diào)節(jié)閥門開度，以快速穩(wěn)定的將流量調(diào)節(jié)到設(shè)定值。針對CVD行業(yè)特殊設(shè)計的結(jié)構(gòu)，VCR 接頭與底座一體式加工，結(jié)構(gòu)更加緊湊，泄漏率可達10-9 atm·cc/sec He，更好的滿足客戶需求。

應用及案例

● 人造鉆石MPCVD設(shè)備

● 半導體各種CVD鍍膜設(shè)備

產(chǎn)品特色精度升級技術(shù)指標操作手冊尺寸詳圖尺寸壓損產(chǎn)品大圖氣體編碼宣傳彩頁

產(chǎn)品特色

● 低價位產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、體積流量和質(zhì)量流量等

● 多參數(shù)控制：體積流量，質(zhì)量流量，壓力

● 三種控制方式：模擬、數(shù)字和本地顯示屏

● 量程可控比寬：0.01%-100%

● 內(nèi)置98種氣體

● 用戶可現(xiàn)場編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲20種混合氣

● 響應時間快，優(yōu)于30ms（可調(diào)）

精度升級

精度升級 new! 詳情請咨詢

量程為 0.5 SCCM - 20 SLPM，

其中 10 0SCCM - 20 SLPM 量程段，下述指標升級：

質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）

質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）

重復性 ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

質(zhì)量流量零點漂移 ± 0.01% 滿量程 / ℃溫差

± 0.01% 滿量程 / Atm 壓力差

質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數(shù) / ℃溫差

± 0.1 % 讀數(shù) / Atm 壓力差

技術(shù)指標

介質(zhì)要求非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類內(nèi)置了 98 種氣體，用戶可現(xiàn)場編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲20種混合氣；

量程從0-0.5 SCCM 到 0-20 SLPM（詳情請咨詢）

測量和控制范圍 0.01~100% 滿量程

精度 ± (0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程)（10sccm-20SLPM參數(shù)見精度升級部分）

重復性 ±（0.2% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

零點&滿量程溫度漂移： 0.02% 滿量程 / ?C （從25 ?C開始）

零點&滿量程壓力漂移：±(0.08% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程)（從校準壓力開始）

預熱時間 <1s

響應時間 30ms（T63,可調(diào)）

默認標況（STP） 25 ℃ & 1Atm（其它標況可調(diào)）

工作溫度 -10 ～ +60 ?C

工作濕度 0-95%，無冷凝

上限工作壓力 1MPaG

極限耐壓 1.2MPaG

下限操作壓力建議在80 KPaA 以上使用（其他請咨詢）

模擬輸入/輸出信號 0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA

數(shù)字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）

供電電壓 12-24Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-24 Vdc)

供電電流 250 mA，1 A（詳情咨詢）額外加 40 mA（如選4 - 20 mA）

電氣接口 DB9M

材質(zhì) 302, 303, 304, 316L, 430FR 不銹鋼， FKM氟橡膠，陶瓷，銅，玻璃，金，環(huán)氧樹脂，硅橡膠，聚酰胺，硅

安裝方式對位置無要求

防護等級 IP40

操作手冊

朗潤達-ALICAT 簡易操作說明-氣體質(zhì)量流量控制器21V1.pdf

尺寸詳圖

MC-.25VCRM-SL2 - 124mm.jpg

尺寸壓損

滿量程	壓損1（psid）	外觀尺寸(mm)	連接接口
0.5sccm	1	117.27H×124W ×26.67D	1/4''VCRM
1-5sccm	2
10sccm	2.8
20 sccm——500 sccm	1.0
1 slpm	1.5
2 slpm	3.0
5 slpm	2.0
10 slpm	5.5
20 slpm	20.0
1、在出口端通大氣的情況下。

產(chǎn)品大圖

氣體編碼

選型表截圖長圖.png

* 混合氣體編碼為“800”，選項中須有具體混合氣體比例說明。

* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。

* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產(chǎn)品，可支持①類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品，可支持①、②類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計產(chǎn)品，可支持①、②、③類氣體。

* 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。

宣傳彩頁

ALICAT 51系列25V1.pdf