F4000系列質量流量計

氣體要求

潔凈干燥無腐蝕性氣體

氣體種類

氦氣、氬氣、氫氣、空氣、氮氣、氧氣、二氧化碳、甲烷等

注：其它氣體請咨詢

量程

100sccm - 1000slpm（相對氮氣N2）

控制范圍（量程比）

1% - 100%（100：1）

精度

±2%F.S.

重復性

±0.2%F.S.    

溫度漂移系數

≤0.1%RD/℃

壓力漂移系數

≤0.1%RD/Bar

啟動時間

≤1s

響應時間

≤ 50ms

操作條件

標準參考條件（STP標準溫度和壓力）

25℃ 和1atm

工作溫度

0 - 50℃

工作濕度

10% - 90%RH（無結冰、無凝霜）

最大耐壓

1 MPa

破壞壓力

1.5 MPa

儲存溫度

-20到85℃

機械參數

氣路連接接口

底座：G1/4英寸，G1/2英寸

快 插：6mm，  8mm ，10mm，12mm

VCR：1/4英寸

注：其它接口請咨詢

主體材質

底座：鋁合金，316L不銹鋼（可選）

外殼：注塑

接液材質

底座：鋁合金，或316L不銹鋼

密封圈： FKM氟橡膠

MEMS傳感器：氮化硅

密封材質

FKM氟橡膠

防護等級

IP40

安裝方向

任意方向

重量

鋁合金：59克，188克

不銹鋼：134克，485克

電氣參數（供電和通信）

供電電壓

DC 9 - 24V (支持USB供電)

功耗

≤60mA

供電和通信接口

JGT 5Pin

電壓輸出信號

0 - 5V 、 0.5 - 4.5V、V1 -5V

電流輸出信號

0 – 20mA 、4 - 20mA

數字輸出信號

RS485 (MODBUS)

報警信號信號

PNP、NPN

顯示方式

瞬時流量、累計流量（可翻轉顯示正反）

顯示屏尺寸

1.09英寸

顯示屏分辨率

64 x 128 DOTs

通信協議

Modbus-RTU

設備地址

1（默認）- 253

壓降

量程

壓降

100 SCCM

0.1 kPa

500 SCCM

0.8 kPa

1 SLPM

0.3 kPa

2 SLPM

1 kPa

10 SLPM

0.7 kPa

20 SLPM

2.4 kPa

50 SLPM

7 kPa

100 SLPM

17.6 kPa

200 SLPM

59.8 kPa

500 SLPM

83.6KPa

1000 SLPM

247KPa

F4000產品系列

類型

質量流量計

針閥流量調節

電磁閥流量調節

F4000

F4001

F4003

F4000

量程

100   sccm

1     slpm

5     slpm

10    slpm

20    slpm

50    slpm

100   slpm

200   slpm

500   slpm

1000  slpm

100C

1L

5L

10L

20L

50L

100L

200L

500L

1000L

2L

氣路連列接口

快插 6mm

快插 8mm

快插 10mm

快插 12mm

VCR  1/4英寸

TM6

TM8

TM10

TM12

VC4

TM6

氣體 （ 遵循半導體標準E52-0703）

名稱

氦氣

氬氣

氫氣

空氣

氮氣

氧氣

二氧化碳 

甲烷

注：其它氣體請咨詢 

分子式

He

Ar

H2

Air

N2

O2

CO2

CH4

001

004

007

008

013

015

025

028

013

模擬通信和數字通信

4-20mA模擬輸出信號

4

5

4

0-5V模擬輸出信號

開關量輸出信號（PNP/NPN）

RS485數字輸出信號

2

4

4

其它參數

（1） 質量流量計/控制器進入口和出口壓力    

（2） 氣體溫度